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所谓MEMS是Micro Electro Mechanical Systems（微型电子机械系统）的简称，是一种具有利用半导体工艺技术制作的三维细微结构的系统。村田制作所始终致力于研究以陀螺传感器为首的惯性力传感器的应用课题。在陀螺传感器中，通过对硅基板进行细微地深刻加工而构成梳型结构，通过旋转时产生的哥氏力而导致的静电容量的变化，对角速度进行检测。同时，除了传感器以外，还在RF组件等广泛的领域进行着应用方面的研究。 |
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村田制作所是首屈一指的采用压电陶瓷制造振动陀螺传感器的企业。将我们独自研制的传感技术，与最新研发成功的MEMS技术相融合。通过采用独创的振荡子结构，实现了具有强抗振动和抗冲击力、与以前相比能大幅度地改善其高精度化和小型化性能的MEMS陀螺传感器，并完成了实用化。通过其稳定的温度特性，为汽车导航系统的高性能化作出了贡献。 |
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