気圧センサ素子

弊社では、ベアなセンサ素子 (SCB10Hセンサ素子) を製造しています。SCB10Hセンサ素子は、静電容量測定原理により、絶対圧力を計測します。SCB10Hセンサ素子は、特殊な用途での使用が可能です。ご興味をお持ちの方は、mfi-support@murata.com までお問い合わせください。SCB10Hについてご説明いたします。

慣性力センサ

・

加速度センサ >

・

傾斜センサ >

・

ジャイロセンサ >

・

気圧センサ素子

・

ショックセンサ >

SCB10H

寸法: 1.4×1.4×0.85mm (幅×長さ×高さ)
耐高圧衝撃 (>200bar)
高い絶縁抵抗 (>10GΩ)
RoHS準拠
さまざまな圧力範囲に対応 (1.2～25bar)
定評ある容量型3D-MEMS技術
真空に近い状態で稼働

Pressure Sensor Elements (Dies)

- 特長: -

極低消費電流
高正確性
高静電容量ダイナミクス
高耐過圧性、耐衝撃性

- 用途: -

医療機器

気圧計
高度計

パラメータ	単位	B012	B080	B250
測定レンジ	kPa	30-120	100-800	100-2,500
最低圧力時の静電容量	pF	7.8	7.5	7.3
最高圧力時の静電容量	pF	11.8	13.4	13.9
静電容量ダイナミクス	pF	4.0	5.9	6.6
感度	fF/kPa	55 (@100 kPa)	6.2 (@350 kPa)	1.3 (@100 kPa) 6.5 (@2,500 kPa)

・SCB10H　Datasheet（PDF:320KB）

・Product Family specifications SCB10H(PDF:404KB）