気圧センサ素子

弊社では、ベアなセンサ素子 (SCB10Hセンサ素子) を製造しています。SCB10Hセンサ素子は、静電容量測定原理により、絶対圧力を計測します。SCB10Hセンサ素子は、特殊な用途での使用が可能です。ご興味をお持ちの方は、mfi-support@murata.com までお問い合わせください。SCB10Hについてご説明いたします。

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SubTitleIcon6    SCB10H

  • 寸法: 1.4×1.4×0.85mm (幅×長さ×高さ)
  • 耐高圧衝撃 (>200bar)
  • 高い絶縁抵抗 (>10GΩ)
  • RoHS準拠
  • さまざまな圧力範囲に対応 (1.2~25bar)
  • 定評ある容量型3D-MEMS技術
  • 真空に近い状態で稼働
Pressure Sensor Elements (Dies)

- 特長: -

  • 極低消費電流
  • 高正確性
  • 高静電容量ダイナミクス
  • 高耐過圧性、耐衝撃性

- 用途: -

医療機器
  • 気圧計
  • 高度計

パラメータ 単位 B012 B080 B250
測定レンジ kPa 30-120 100-800 100-2,500
最低圧力時の静電容量 pF 7.8 7.5 7.3
最高圧力時の静電容量 pF 11.8 13.4 13.9
静電容量ダイナミクス pF 4.0 5.9 6.6
感度 fF/kPa 55
(@100 kPa)
6.2
(@350 kPa)
1.3 (@100 kPa)
6.5 (@2,500 kPa)

Murata Icon X Documentation

SCB10H Datasheet(PDF:320KB)

Product Family specifications SCB10H(PDF:404KB)