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シリコンの酸化物および窒化物を用いています。 高い信頼性、熱や電圧に対する容量安定性が特徴です。
関連用語：シリコンキャパシタ、シリコンコンデンサ、シリコンIPD、Silicon Capacitor(Si-Cap)、Silicon IPD(Si-IPD、Integrated Passive Device)
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