6축 3D MEMS 관성 센서 개발
~ADAS·자율주행시스템 고정밀도화에 공헌~

2020-05-28

주식회사 무라타 제작소
회장 겸 사장 무라타 츠네오

주식회사 무라타 제작소(이하, 「당사」)는, ASIL D※1이 요구되는 시스템에 대응 가능한 6축 원패키지, 3D MEMS 관성력 센서 「SCHA600 시리즈」(이하, 「본제품」)를 개발했습니다. 2020년 12월 말부터 양산을 시작할 예정입니다.
※1 Automotive Safety Integrity Level(자동차 안전 수준)을 말한다. 일반적으로 A < B < C < D 의 순에, 높은 수준의 안전방책이 요구된다.

최근 자동차 업계에서는, 첨단 운전자 보조 시스템(ADAS)의 고정밀화에 의해, 위성 측위 시스템(GNSS)만으로는 포지셔닝할 수 없는 터널이나 교량 아래에서 정확한 차량 위치를 검지하는 센서 기술이 요구되고 있습니다. 본제품은, 독자적인 3D MEMS 기술※2을 활용하여, 오차 수십 센티미터 수준의 포지셔닝을 가능하게 하고 있으며, 첨단 운전자 보조 시스템(ADAS)이나 자동 운전 등 각 시스템의 고정밀화에 기여합니다.
정전용량형의 3D MEMS(3차원·마이크로·일렉트로·메카니컬·시스템).실리콘을 3차원 구조로 성형, 뛰어난 센서 정밀도, 소형 유닛 사이즈, 저소비 전력을 실현하였다.
※2 정전 용량 형 3D MEMS (3 차원 Micro-Electro Mechanical Systems). 실리콘을 3 차원 구조로 성형, 우수한 센서 정밀도, 소형 유닛 사이즈, 낮은 소비 전력을 실현하고 있다.

본제품의 장점

1. 자동차 시스템의 고성능화 및 설계 자유도 향상에 기여
  • 자체 3D MEMS 구조로 우수한 바이어스 안정성, 저노이즈 수준, 높은 내진동성 실현
  • 3축의 각속도와 가속도를 원 패키지화 한 것으로, 자유로운 설치가 가능

2. 자기진단기능※3
  • 본제품의 특징인 페일 세이프 기능은, 레퍼런스 신호를 이용한 모니터링, 통신 이상이나 bit 에러를 검증하기 위한 체크섬 및 포화와 오버 레인지 등의 이상 신호의 검출이 가능합니다. 또 특허 취득이 끝난 당사의 자기 진단 기능은, MEMS 소자 내부의 움직임으로부터 신호 회로 전체까지의 적절한 동작을 검증할 수 있게 되어 있습니다.
※3 이상검지를 스스로 진단하고 출력에 의해 알리는 기능

3. 자동차 시스템의 안전성에 기여
  • 6축 관성 센서로 ASIL D 기능 안전 개발에 따른 ISO 26262에 대응
  • AEC-Q100※4규격에 준거
※4 Automobile Electronics Council(차재전자부품평의회)가 정하는 집적회로·IC용 업계표준

주요 사양

사이즈 18.7 mm x 8.5 mm x 4.5 mm(길이x폭x높이)
핀 수 32개
전압 3.0 V〜3.6 V
각속도 측정 범위 ±125 °/s 또는 ±300 °/s
가속도 측정 범위 ±6 g

주요 용도

본제품은 환경 요건이 까다롭고, 보다 고성능의 센서가 요구되는 이하의 용도를 대상으로 합니다.
  • 첨단 운전자 지원 시스템(ADAS)
  • 자동 운전(AD)
  • 레인 키핑 어시스트(LKA)
  • 데드 레코닝
제품 상세 내용은 6축3D MEMS관성 센서를 확인해주십시오.

관련 사이트

3D MEMS 기술에 대해

무라타에 대해서

주식 회사 무라타 제작소는 기능성 세라믹을 기반으로 전자 디바이스의 연구 개발 • 생산 • 판매를 행하고 있으며, 재료부터 제품까지 일관 생산 체제를 구축하고 있습니다. 또한, 무라타 제품의 90%이상은 해외에서 판매되고 있으며, 국내외로 글로벌 회사를 전개하고 있습니다.