株式会社村田制作所（以下简称本公司）研发了能支持要求达到ASIL D
(1)的系统的6轴一体封装、3D MEMS惯性力传感器“SCHA600系列”（以下简称本产品），并计划于2020年12月底开始批量生产。
| (1)
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指Automotive Safety Integrity Level（车辆安全完整性等级）。一般按A < B < C < D的顺序，要求高水准安全措施。
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近年来汽车行业因高级驾驶辅助系统（ADAS）的高精度化，需要在只靠全球卫星导航系统（GNSS）无法定位的隧道里、桥梁下也能精确检测车辆位置的传感器技术。本产品充分运用本公司独家3D MEMS技术
(2)，定位精确度能达到误差数十厘米的水准，为高级驾驶辅助系统（ADAS）、自动驾驶等各系统的高精度化做贡献。
| (2)
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即静电容量型3D MEMS (3维微机电系统)。将硅材料加工成3维结构，实现了传感器精度优异、组件尺寸小、功耗低。
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本产品的特点
1. 为车载系统高性能化和提高设计自由度做贡献
- 由独家3DMEMS结构，实现了优秀的偏压稳定性、低噪、高抗振性能
- 将3轴角速度和加速度一体封装，能够随意设置
2. 自我诊断功能(3)
- 失效安全功能是本产品的特点，它运用参考信号进行监控，检测通信异常、检验bit错误的校验以及饱和、超出额定范围等异常信号。已取得专利的本公司的自我诊断功能可以对MEMS元件内部工作情况至整个信号电路是否正常工作进行验证。
| (3)
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自我检测异常进行诊断，并通过输出进行通知的功能
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3. 为车载系统的安全性做贡献
- 本6轴惯性力传感器符合ASIL D功能安全开发的ISO26262
- 符合AEC-Q100(4)标准
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Automobile Electronics Council（汽车电子协会）规定的集成电路和IC的业界标准
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主要技术规格
| 尺寸 |
18.7 mm x 8.5 mm x 4.5 mm（长ｘ宽ｘ高） |
| 接脚数 |
32个 |
| 电压 |
3.0 V〜3.6 V |
| 角速度测量范围 |
±125 °/s 或±300 °/s |
| 加速度测量范围 |
±6 g |
主要用途
本产品以环境条件严酷，需要更高性能传感器的下列用途为对象。
- 高级驾驶辅助系统（ADAS）
- 自动驾驶（AD）
- 车道保持辅助系统（LKA）
- 航位推算法
产品详情请查看
6轴3D MEMS惯性力传感器。
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容量型3D MEMS技术
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