陀螺仪

村田制作所利用公司成熟的3D MEMS技术和高集成度的电子元件开发并生产陀螺仪元件。

本工业陀螺仪产品提供了一般只能在昂贵的模块产品上方可达到的性能水平。传感元件和测量电路均组装在一个预压模塑料双列直插(DIL)封装内,采用硅胶作为防护手段,并以不锈钢封盖覆盖。所有产品均符合RoHS指令并适用于无铅回流焊接。

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陀螺仪的PDF目录册如下所示

陀螺仪

MEMS Sensors & Sensing Elements (PDF: 3.4 MB)

CAT NO.
s47e-5
UPDATE
2021/5/13

MEMS技术基础知识

MEMS技术基础知识
总结了实现了高精度和高可靠性的MEMS技术的结构、原理和特点。

Basic knowledge of MEMS Technology

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