请输入产品型号或部分型号。
利用干法蚀刻技术的BOSCH工艺。BOSCH工艺是硅加工特有的技术，它可以让通过SF6气体进行蚀刻和通过C4F8形成保护膜高速重复，从而实现高纵横比蚀刻。
相关术语：硅电容器、硅IPD、Silicon Capacitor(Si-Cap)、Silicon IPD(Si-IPD、Integrated Passive Device)
请配合完成FAQ改善问卷。FAQ对您有帮助吗?
如果可以的话，请您提出对FAQ的意见及要求。您的意见将会用于FAQ的改善中。
如您有产品相关的疑问，请点击“联系我们”进行咨询。