开发6轴3D MEMS惯性力传感器
~为ADAS、自动驾驶系统的高精度化做贡献~

2020/5/28

株式会社村田制作所
代表董事会长兼社长 村田 恒夫

株式会社村田制作所(以下简称本公司)研发了能支持要求达到ASIL D(1)的系统的6轴一体封装、3D MEMS惯性力传感器“SCHA600系列”(以下简称本产品),并计划于2020年12月底开始批量生产。
(1) 指Automotive Safety Integrity Level(车辆安全完整性等级)。一般按A < B < C < D的顺序,要求高水准安全措施。

近年来汽车行业因高级驾驶辅助系统(ADAS)的高精度化,需要在只靠全球卫星导航系统(GNSS)无法定位的隧道里、桥梁下也能精确检测车辆位置的传感器技术。本产品充分运用本公司独家3D MEMS技术(2),定位精确度能达到误差数十厘米的水准,为高级驾驶辅助系统(ADAS)、自动驾驶等各系统的高精度化做贡献。
(2) 即静电容量型3D MEMS (3维微机电系统)。将硅材料加工成3维结构,实现了传感器精度优异、组件尺寸小、功耗低。

本产品的特点

1. 为车载系统高性能化和提高设计自由度做贡献
  • 由独家3DMEMS结构,实现了优秀的偏压稳定性、低噪、高抗振性能
  • 将3轴角速度和加速度一体封装,能够随意设置

2. 自我诊断功能(3)
  • 失效安全功能是本产品的特点,它运用参考信号进行监控,检测通信异常、检验bit错误的校验以及饱和、超出额定范围等异常信号。已取得专利的本公司的自我诊断功能可以对MEMS元件内部工作情况至整个信号电路是否正常工作进行验证。
(3) 自我检测异常进行诊断,并通过输出进行通知的功能

3. 为车载系统的安全性做贡献
  • 本6轴惯性力传感器符合ASIL D功能安全开发的ISO26262
  • 符合AEC-Q100(4)标准
(4) Automobile Electronics Council(汽车电子协会)规定的集成电路和IC的业界标准

主要技术规格

尺寸 18.7 mm x 8.5 mm x 4.5 mm(长x宽x高)
接脚数 32个
电压 3.0 V〜3.6 V
角速度测量范围 ±125 °/s 或±300 °/s
加速度测量范围 ±6 g

主要用途

本产品以环境条件严酷,需要更高性能传感器的下列用途为对象。
  • 高级驾驶辅助系统(ADAS)
  • 自动驾驶(AD)
  • 车道保持辅助系统(LKA)
  • 航位推算法
产品详情请查看6轴3D MEMS惯性力传感器

相关网站

容量型3D MEMS技术

关于村田制作所

村田制作所是一家全球性的综合电子元器件制造商,主要从事以陶瓷为基础的电子元器件的开发、生产和销售业务。致力于通过自身开发积累的材料开发、工艺开发、商品设计、生产技术以及对它们提供支持的软件和分析评估等技术基础,创造独特产品,为电子社会的发展做出贡献。 详情请单击此处链接 www.murata.com/zh-cn/