シリコンキャパシタ(シリコンコンデンサ)のFAQ

構造/材料

シリコンキャパシタの構造を教えてください。

シリコンの単結晶基板に形成した3D構造上に、シングルMIMおよびマルチMIM構造を形成しています(MIM構造とは金属/誘電体/金属の積層構造)。

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