세계 최고 수준의 고정밀 자세각 및 위치 감지가 가능한 소형 6축 관성력 센서 개발

  • Sensors

2024-01-29

주식회사 무라타제작소
대표이사 사장 나카지마 노리오

주식회사 무라타 제작소(이하, 당사)는 세계 최고 수준의 고정밀 자세각 및 위치 감지가 가능한 소형 6축 관성력 센서 'SCH16T-K01'(이하, 본 제품)을 산업기기 용도에 주력하여 개발했다. 현재 샘플 공급을 개시했으며, 양산은 2024년 3월을 목표로 하고 있다. 본 제품을 중심으로 차세대 6축 제품 SCH16T 시리즈 라인업을 계속 확대할 계획이다.

최근, 산업기기의 고기능화에 따라 실장 되는 전자부품 수가 증가하며 센서 패키지의 소형화가 요구된다. 또, 산업기기의 자동 운전화로 동적 자세각※1과 정확한 위치 감지의 중요성도 높아지고 있다. 일반적으로 센서 각 축 (X축, Y 축, Z 축)의 직교성은 동적 자세각을 정확히 측정하기 위한 중요한 요소로, 기존에는 직교성을 확보하기 위해 사용자가 캘리브레이션이라는 보정 작업을 추가해야 했다.

  • ※1동적 자세각: 움직이는 물체의 자세각.

이에 당사는 MEMS 자이로에서 세계 최고 수준의 출력 안정성과 낮은 노이즈 특성을 가진 6축 관성력 센서를 개발했다. 자이로센서와 가속도 센서의 각 축이 서로 직교 보정된 값을 출력할 수 있으며 이를 통해 사용자가 캘리브레이션 과정을 간소화 가능하여 제조 비용 절감에 기여한다. 더불어 소형 패키지로 제작되어 공간을 절약할 수 있는 제품이다. 본 제품만으로 3축 자이로센서와 3축 가속도 센서의 직교성이 보장된 6DoF※2를 실현 가능하다.

  • ※26DoF(6 Degrees Of Freedom): 3차원에서 물체가 가지는 움직임의 자유도.


당사는 앞으로도 시장의 요구에 부응하는 관성력 센서를 개발하여 산업기기의 고정밀화에 기여해 나가겠다.

주요 특장점

  1. MEMS 자이로로 세계 최고 수준의 센서 성능 실현
    • Gyro bias instability(down) 0.5deg/h 이하
    • Gyro noise density 0.3 mdps/ √ 𝐻𝑧 이내
    • Linearity 0.02dps(자이로) 0.06m/s^2(가속도) ※ 전 온도 범위
  2. 자이로 및 가속도 각 축의 직교성을 보정한 센서 출력
    축 직교성 Error 값 0.3deg 이하 ※전 온도 범위

  3. 3. 당사 6축 제품 중 가장 작은 패키지 사이즈
    12mmx14 mm x3mm(길이x폭x두께)

주요사양

사이즈 12mm x 14 mm x 3mm(길이x폭x두께)
Pin 수 24pin
전압 3.0 V〜3.6 V
각속도 측정 범위 ±300 °/s, ±125 °/s, ±62.5 °/s
가속도 측정 범위 ±80m/s² 
(Dynamic Range : ±260m/s²이내)

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무라타에 대해서

주식 회사 무라타 제작소는 기능성 세라믹을 기반으로 전자 디바이스의 연구 개발 • 생산 • 판매를 행하고 있으며, 재료부터 제품까지 일관 생산 체제를 구축하고 있습니다. 또한, 무라타 제품의 90%이상은 해외에서 판매되고 있으며, 국내외로 글로벌 회사를 전개하고 있습니다.