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과도한 진동 및 급속 회전 시 신호 포화를 억제할 수 있는 산업기기용 6DoF 관성력 센서 'SCH16T-K30'

  • Sensors

2026-11-05

주식회사 무라타 제작소(이하, 당사)는 산업기기용 6DoF 관성력 센서 'SCH16T' 시리즈에 'SCH16T-K30'(이하, 본 제품)을 추가한다. 본 제품은 과도한 외부 진동이나 급속 회전으로 인해 발생하는 신호 포화(클리핑)를 억제하여 유압 굴착기를 비롯한 중장비 제어 및 측량기기 등에서 안정적인 계측에 기여한다. 현재 샘플 제공을 시작했으며 양산은 2026년 말에 시작할 예정이다. 또한 2026년 11월 10일부터 13일까지 독일 뮌헨에서 개최되는 'electronica 2026'에서 본 제품을 전시한다.

유압 굴착기 등의 건설기계와 측량기기에는 기기의 움직임과 자세를 파악하기 위해 가속도와 각속도를 계측하는 관성력 센서가 활용되고 있다. 이러한 산업기기에서는 실제로 계측하려는 기기의 움직임 외에도 동작 시 센서에 과도한 진동이 가해지거나 급격한 회전이 발생할 수 있다. 이러한 진동이나 급속 회전으로 인해 가속도나 각속도가 센서의 측정 한계를 초과하면 센서 출력이 포화되어 실제 움직임의 일부를 정확히 포착하지 못할 수 있다. 따라서 과도한 진동과 급속 회전이 발생하는 환경에서도 기기의 움직임을 안정적으로 포착할 수 있는 센서가 필요하다.

이에 당사는 독자적인 3D MEMS※1 기술을 통해 200Hz를 초과하는 주파수 대역의 불필요한 진동을 감쇠하고 1,000Hz에서 180g의 포화 한계※2를 갖춘 가속도 센서와 기존 제품인 'SCH16T-K10' 및 'SCH16T-K20'의 ±300°/s에서 ±490°/s로 측정 범위를 확대한 각속도 센서를 탑재한 본 제품을 개발했다. 이를 통해 과도한 진동이나 급속 회전으로 인한 신호 포화를 억제하여 기기의 움직임을 안정적으로 포착하는 데 기여한다. 본 제품은 산업기기용 제품이지만 차량용 집적회로(IC)의 신뢰성 시험 규격인 'AEC-Q100※3'의 Grade 1을 기반으로 한 시험 조건에서 성능을 검증했다.
또한 'SCH16T' 시리즈 공통의 자가 진단 기능을 갖춰 센서 자체의 상태를 모니터링함으로써 이상 감지를 지원한다. 소프트웨어 및 핀 배열도 호환되므로 용도와 필요한 성능에 따라 제품을 쉽게 교체할 수 있어 고객의 설계 공수 절감에 기여 가능하다.

  • ※1 3D MEMS: 정전 용량형 3D MEMS(3차원 마이크로 전자 기계 시스템)를 의미. 실리콘을 3차원 구조로 성형하여 뛰어난 센서 정밀도, 소형 유닛 사이즈, 저소비전력을 구현한다.
  • ※2 포화 한계: 센서에 큰 진동이나 움직임이 가해졌을 때 센서 내부에서 신호가 포화되기까지의 한계값. 값이 클수록 과도한 진동에 의한 신호 포화를 억제하기 쉽다는 것을 나타낸다.
  • ※3 본 제품은 차량용 애플리케이션에는 대응하지 않는다.

당사는 앞으로도 산업기기의 사용 환경과 고정밀화 요구에 대응하는 각속도 센서 및 가속도 센서 기술 개발을 지속해 산업기기의 안정적인 동작 계측에 기여해 나갈 것이다.

주요 특징점

  • 200Hz를 초과하는 주파수 대역의 불필요한 진동을 감쇠시키고 1,000Hz에서 180g의 높은 포화 한계를 갖춘 가속도 센서 탑재
  • ±490°/s의 넓은 측정 범위를 갖춘 각속도 센서 탑재
  • 가속도 센서 노이즈 밀도 80µg/√Hz, 각속도 센서 노이즈 밀도 0.0004 (°/s)/√Hz 및 바이어스 불안정성 0.3°/h 구현(모두 Typical)
  • −40~+110℃의 넓은 동작 온도 범위
  • 자가 진단 기능과 'SCH16T' 시리즈 내 소프트웨어 및 핀 배열 호환성

주요 사양

센서 구성 3축 각속도 센서+3축 가속도 센서(6DoF)
사이즈(세로 x가로 x 높이) 11.8 × 13.4 × 2.9mm
전원 전압 3.0~3.6V
동작 온도 범위 -40~+110℃
각속도 측정 범위 ±490°/s
각속도 센서 노이즈 밀도(Typical) 0.0004 (°/s)/√Hz (X,Y축)
각속도 센서 바이어스 불안정성(Typical) 0.3°/h
가속도 센서 노이즈 밀도(Typical) 80μg/√Hz
가속도 측정 범위 ±16g (X,Y축) ±15g (Z축)
  • ※ 본 제품은 개발 중인 제품으로 사양 및 외관이 예고 없이 변경될 수 있습니다.

문의

본 제품의 문의는 여기로 부탁드립니다.

무라타에 대해서

주식 회사 무라타 제작소는 기능성 세라믹을 기반으로 전자 디바이스의 연구 개발 • 생산 • 판매를 행하고 있으며, 재료부터 제품까지 일관 생산 체제를 구축하고 있습니다. 또한, 무라타 제품의 90%이상은 해외에서 판매되고 있으며, 국내외로 글로벌 회사를 전개하고 있습니다.