振動モード

セラミック発振子(セラロック®)の基礎知識
圧電素子は、圧電セラミックスの機械的共振を利用した発振子であり、その共振周波数によって対応できる振動モード (振動姿態) が異なります。この関係をまとめると下記表のようになります。

Vibration Modes

- 各振動モードの特長 -

1. 屈曲振動
折れ曲がるような振動

2. 長さ振動

薄い角板の長手方向の伸縮振動

3. 拡がり振動

薄い角板または円板の面方向拡がり振動

4. 厚み滑り振動

薄い角板で電界方向が分極方向と直角なため、面に沿ったすべり振動をするもの

5. 厚み縦振動

薄い角板の厚み方向振動

6. 表面波 (レーリー波)

エネルギーが基板表面を伝わり基板深さ方向には指数関数的に減少するような弾性波

7. BGS波

基本的にエネルギーの伝搬方法は同じであるが、最も大きな違いは表面波は縦波+横波であるのに対し、BGS波は横波のみで伝搬する。
BGSの由来-BGSとは同じ時期 (1968年頃) にこの波を発見した3人Bleustein、Gulyaev、Shimizuの頭文字をとって名づけられた。

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