圧力センサ気圧センサの基礎知識

気圧センサとは

気圧センサとは、大気圧値や高さ変化を検出するセンサで、スマートフォンやスマートウォッチ、ドローンなどに活用されています。
現在の気圧センサは、MEMS技術を用いた製品が広く普及しています。

代表的な種類

MEMSを用いた気圧センサには、主に「ピエゾ抵抗方式」と「静電容量方式」があります。
一般的に、静電容量方式の方が、低ノイズ、低消費電流という点で優れています。

代表的な用途

スマートフォン、タブレット、スマートウォッチ、アクティブトラッカー、サイクルコンピューター、ドローン、自律走行型ロボット、掃除機、気象観測デバイス、スマートインヘラー、CPAP

特徴

小型、静電容量型MEMS、低ノイズ、低消費電流、防水設計対応、温度センサ内蔵、温度補償対応、I2C・SPIのデジタルIF、割り込み機能、SMD実装

仕組み・原理

MEMSダイアフラムにより気圧の変化を検出しております。
ムラタの気圧センサは、静電容量方式を採用しており、ダイアフラムと電極間の静電容量値を気圧値に変換しています。
静電容量型MEMSは低消費電流、低ノイズが特徴です。

ASIC内部に温度センサを搭載し、温度補正済みの気圧値を出力します。また、ADCやフィルターI2CやSPIのデジタルIFに対応しております。

基本的な構成

MEMS/ASIC/金属Lid/Gel/基板/ワイヤーボンディング