圧力センサ圧力センサ素子

弊社では、ベアなセンサ素子 (SCB10Hセンサ素子) を製造しています。SCB10Hセンサ素子は、静電容量測定原理により、絶対圧力を計測します。SCB10Hセンサ素子は、特殊な用途での使用が可能です。ご興味をお持ちの方は、mfi-support@murata.com までお問い合わせください。SCB10Hについてご説明いたします。

慣性力センサ

SCB10H

  • 寸法: 1.4×1.4×0.85mm (幅×長さ×高さ)
  • 耐高圧衝撃 (>200bar)
  • 高い絶縁抵抗 (>10GΩ)
  • RoHS準拠
  • さまざまな圧力範囲に対応 (1.2~25bar)
  • 定評ある容量型3D-MEMS技術
  • 真空に近い状態で稼働
Pressure Sensor Elements (Dies)

特長

  • 極低消費電流
  • 高正確性
  • 高静電容量ダイナミクス
  • 高耐過圧性、耐衝撃性

用途

左右にスワイプ可能です 横持ちでご覧ください
パラメータ 測定レンジ 最低圧力時の
静電容量
最高圧力時の
静電容量
感度 用途例
単位 kPa pF pF fF/kPa
  • ガス・液体の流量モニタリング装置
  • 気圧計
  • 高度計
B012 30-120 7.8 11.8 55 (@100 kPa)
B250 100-2,500 7.3 13.9 1.3 (@100 kPa)
6.5 (@2,500 kPa)

Documentation