センサ加速度センサ

自動車用低g加速度センサの世界市場をリードしています。自動車のセーフティクリティカル用途や産業用途に高性能なアナログおよびデジタルの豊富なラインアップをご用意しています。

加速度センサは、堅牢なシリコン容量型3D MEMSテクノロジーを基本にしています。センシングエレメントとASIC(センシングエレメントの性能を最大限に活用するように設計された集積回路)は、デュアルインラインまたはデュアルインフラットラインのLCPパッケージ内に配置され、表面実装用およびリフローはんだ付け用のピンと共に組み立てられます。センシングエレメントとASICはシリコンゲルでシールされ、高湿環境および温度変化に対して高度の性能と信頼性を発揮します。測定方向は実装面に並行または垂直です。

Acceleration Sensors

慣性力センサ

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MEMS技術の基礎知識

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高精度、高信頼性を実現するMEMS技術の構造、原理、特長をまとめました。

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